檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="氣壓\u002D壓電伺服XYZ三軸定位平台"
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本文旨在應用模糊滑動控制理論於非對稱型單桿氣壓缸及無桿氣壓缸並結合壓電致動器所發展出之長行程奈米精度伺服XYZ三軸定位系統與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償,整個定位行…